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高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购竞价公告
信息来源: ******[查看]
|地区:全国
|类型:采购公告
基本信息
信息类型:采购公告
区域:全国
源发布时间:2025-09-03
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招标单位:******[查看]
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项目名称 高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购 项目编号 ZBDXJC-******
公告发布日期 2025/09/03 10:56 公告截止日期 2025/09/08 10:56
采购单位 ******大学 付款条款 合同签订后,甲方向乙方预付合同金额的40%,设备交付到现场,安装、调试验收合格,乙方出具增值税专用发票后,甲方向乙方一次性支付全部尾款。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
采购预算 ¥290,000.00
送货/施工/服务期限 合同签订后10天内完成设备交付安装培训。
送货/施工/服务地址 ******大学
履约保证金
项目概况 采购高真空磁控溅射系统,可实现高质量、均匀致密的功能薄膜制备,工艺重复性好,是提升产品性能与先进研发能力的关键基础装备


   采购清单 1
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求
高真空磁控溅射薄膜沉积系统 1 (1)质保期自甲方验收合格之日起内免费保修。质保期为1年(人为因素除外),即质保期内如果出现非人为因素的质量问题,免费予以维护。(2)服务响应时间:提供 7x24 技术支持,4小时内响应, 48小时内提出具体解决方案, 使设备尽快恢复正常。
参考品牌及型号 鹏程真空(CK450型)   沈阳科仪(PVD500型)   创世威纳(MSP-5100D)  
技术参数要求 一、整体要求: 1、电子束蒸镀在工作的时候会将需要被蒸发的原材料放入到水冷铜坩埚内,这样就可以避免材料被污染,可以制造纯度比较高的薄膜; 2、电子束蒸镀的粒子动能比较的大,有利于薄膜的精密性和结合力; 3、电子束蒸镀法不产生环境污染,可替代传统的湿法电镀; 4、安全系统,可自动切除高压,保证操作人员的安全;系统便于操作、维护; 5、电子束膜厚均匀性:4英寸片内均匀性在±4%之内; 二、技术指标要求: 1、极限真空度:≤6.6x10-5Pa(经烘烤除气后); 2、抽速:从大气开始抽气:45分钟可达到6.6x10-4 Pa; 3、保压性能:系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa; 其他参数要求详见附件

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快照:2025-09-03
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